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材料樣品處理
小型蒸鍍儀
KT-Z1650CVD小型蒸鍍儀
產(chǎn)品簡介
                  小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據(jù)需求氣體 | 
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 | 
| 樣品倉尺寸 | 50mm | 靶材尺寸 | 50mm | 
| 靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 | 
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 電子/電池 | 
小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

小型蒸鍍儀技術資料:
控制方式  | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制  | 
加熱方式  | 數(shù)字式功率調(diào)整器  | 
鍍膜功能  | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序  | 
最大功率  | ≤1200W  | 
最大輸出電壓電流  | 電壓≤12V 電流≤120A  | 
真空度  | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa  | 
擋板類型  | 電控  | 
真空腔室  | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm  | 
樣品臺  | 可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底)  | 
樣品臺轉速  | 8轉/分鐘  | 
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離  | 70-140mm  | 
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)  | ≤1800℃  | 
支持蒸發(fā)坩堝類型  | 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩  | 
預留真空接口  | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口  | 
可選配擴展  | 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)  |