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材料樣品檢測
探針臺
KT-Z160TZ真空探針臺
產(chǎn)品簡介
                  真空探針臺KT-Z160TZ,高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | 鄭科探 | 
|---|
真空探針臺KT-Z160TZ主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探 針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成
高低溫真空 探針臺應(yīng)用:
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機(jī)電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機(jī)電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
· 結(jié)構(gòu)緊湊,適用于各種變溫測試
· -196℃~400℃(配液氮致冷模塊)
· 氣密腔室設(shè)計,可通保護(hù)氣氛
· 4探針,手動定位(可擴(kuò)展為6個)
· 支持改動或定制

真空探針臺KT-Z160TZ參數(shù)
|              
 真空腔體  |         |
|              
 腔體材質(zhì)  |                          
 304不銹鋼  |         
|              
 上蓋開啟  |                          
 鉸鏈側(cè)開  |         
|              
 加熱臺材質(zhì)  |                          
 304不銹鋼  |         
|              
 內(nèi)腔體尺寸  |                          
 φ160x90mm  |         
|              
 觀察窗尺寸  |                          
 Φ70mm  |         
|              
 加熱臺尺寸  |                          
 φ60mm  |         
|              
 觀察窗熱臺間距  |                          
 75mm  |         
|              
 加熱臺溫度  |                          
 ﹣196~400℃  |         
|              
 加熱臺溫控誤差  |                          
 ±1℃  |         
|              
 真空度  |                          
 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa  |         
|              
 允許正壓  |                          
 ≤0.1MPa  |         
|              
 真空抽氣口  |                          
 KF25真空法蘭  |         
|              
 氣體進(jìn)氣口  |                          
 3mm-6mm卡套接頭  |         
|              
 電信號接頭  |                          
 SMA轉(zhuǎn)BNC X 4  |         
|              
 電學(xué)性能  |                          
 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V  |         
|              
 探針數(shù)量  |                          
 4探針  |         
|              
 探針材質(zhì)  |                          
 鎢針  |         
|              
 探針尖  |                          
 10μm  |         
|              
 探針移動平臺  |         |
|              
 X軸移動行程  |                          
 30mm ±15mm  |         
|              
 X軸控制精度  |                          
 ≤0.01mm  |         
|              
 Y軸移動行程  |                          
 13mm ±12.5mm  |         
|              
 Y軸控制精度  |                          
 ≤0.01mm  |         
|              
 Z軸移動行程  |                          
 13mm ±12.5mm  |         
|              
 Z軸控制精度  |                          
 ≤0.01mm  |         
|              
 電子顯微鏡  |         |
|              
 顯微鏡類別  |                          
 物鏡  |         
|              
 物鏡倍數(shù)  |                          
 0.7-4.5倍  |         
|              
 工作間距  |                          
 90mm  |         
|              
 相機(jī)  |                          
 sony 高清  |         
|              
 像素  |                          
 1920※1080像素  |         
|              
 圖像接口  |                          
 VGA  |         
|              
 LED可調(diào)光源  |                          
 有  |         
|              
 顯示屏  |                          
 8寸  |         
|              
 放大倍數(shù)  |                          
 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm  |